根據美國聯邦政府頒發的程序【Federnos Atcome to being well come to beingard（FS）209E，1992】，可将無塵室分爲六級。分散是1級、10級、100級、1000級，倘使無塵室的等級隻用塵粒數目來陳說，則可假定塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。而集成電路制造所需的無塵室之潔白度必需優于1000級。
什麽是無塵室？
無塵室就是将氛圍中的，壓力，溫濕度，氣流漫衍和速度，能在必然局限内把握住，而這裏歲月的陳蓋不是人眼可以見到的灰塵，而是微乎其微的塵埃，無塵室平常主要分紅電子，缜密工業，利用與必要把握微生物濃度的制藥和食品産品應用的。
在JIS的程序下，無塵室的潔白度可以分紅八個等級，而清潔度主要是指氛圍的潔白等級，八個等級是指，在1立方公尺的氛圍中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時爲1；百個以下是100=102是等級2；千個以下時是1000=103等級3，一次類推。本世紀，坐高的最尖端的産業的開展加快了産業反動的厘革，無塵室設置的必要性也是要進步的。無塵室清潔.，商品日漸小型化和缜密化，塵埃和濕度溫度的變化卻對商品會造成很大的摧殘，會招緻商品的質量下降，由于商品的質量條件的進步，所以對無塵室的條件也日益變高。所以，無塵室中的防塵原料和商品都顯得很要緊。無塵室就是一私天然的環境，内裏的粒子要遠遠低于平常的環境，随着集成電路的技術的增加，也增加了對制造無塵室的潔白度的需求，在工業上，就算小于0.1微米的塵埃也會影響到産品的坐蓐和運作，也會消沉産品的壽命，優于納米技術的振起，造成半導體關鍵尺寸持續收縮，集成電路積集度不停地增加，塵粒更便當使芯片生效或确實度好轉。例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就不妨會使金屬導線造成短路。又倘使有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，不妨将其腐蝕，所以無塵室爲集成電路制造不可或缺的要素。
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